感應耦合等離子刻蝕機是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年10月21日啟用。
基本介紹
- 中文名：感應耦合等離子刻蝕機
- 產地：英國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2015年10月21日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 汽車工藝實驗設備 > 紅外線汽車排氣分析儀
技術指標,主要功能,
技術指標
分子泵，超淨間。
主要功能
蝕刻。
感應耦合等離子刻蝕機
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