路益嘉，男，博士，清華大學助理研究員。
基本介紹
- 中文名：路益嘉
- 學位/學歷：博士
- 職業：教師
- 專業方向：IC裝備中的低溫電漿放電，工業設備中的多相流動
- 任職院校：清華大學
個人經歷,研究方向,榮譽獎項,學術成果,
個人經歷
2000.9-2004.6 華中科技大學能源與動力工程學院熱能系 本科
2004.9-2009.6 北京大學力學與工程科學系（工學院）博士
2009.9-2011.2 方達時空數字仿真技術研究所 項目負責
2011.3-2013.5 清華大學航院 博士後
2013.7-now 清華大學機械系 助理研究員
研究方向
IC裝備中的低溫電漿放電，工業設備中的多相流動
榮譽獎項
學術成果
Tian C, Lu YJ*. Turbulence models of separated flow in shock wave thrust vector nozzle[J]. Engineering Applications of Computational Fluid Mechanics, 7:182-192. 2013. [SCI]
Yijia Lu, Yaosong Chen*, and Yiran An. The effect of discharge conditions of ICP etching reactor on plasma parameters. Acta Mechanica Sinica, 25(6):769-776, 2009. [SCI]
Yi-jia LU, Da-qiang YAN, and Yao-song CHEN*. 2-D fluid simulation of dual-frequency capacitively coupled plasma. Journal of Hydrodynamics, Ser. B, 21(6):814-819, 2009. [SCI]
YiRan An, YiJia Lu, DongSan Li, and YaoSong Chen*. Three-dimensional discharge simulation of inductively coupled plasma (ICP) etching reactor. Science in China Series E: Technological Sciences, 51(6):674-682, 2008. [SCI]
