冷場發射掃描式電子顯微鏡

冷場發射掃描式電子顯微鏡是一種用於化學、材料科學、冶金工程技術、物理學領域的分析儀器，於2015年3月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：冷場發射掃描式電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：化學、材料科學、冶金工程技術、物理學
• 啟用日期：2015年3月31日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

本台場發射電鏡適用於常溫下觀測非磁性、無揮發導電材料，不導電材料可噴鍍導電層之後觀測。25倍到65萬倍連續放大可調，解析度達1nm。所配能譜儀用於定性及半定量檢測質量分數大於0.1%的元素含量，測量範圍為4－92號元素，解析度為132eV。

主要功能

可以對各種固體和液體樣品進行形態觀察和元素定性定量分析，對部分溶液進行相變過程觀察。