熱場發射掃描式電子顯微鏡

熱場發射掃描式電子顯微鏡

熱場發射掃描式電子顯微鏡是一種用於電子與通信技術領域的工藝試驗儀器,於2012年12月3日啟用。

基本介紹

  • 中文名:熱場發射掃描式電子顯微鏡
  • 產地:美國
  • 學科領域:電子與通信技術
  • 啟用日期:2012年12月3日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備
技術指標,主要功能,

技術指標

電壓1KV-30KV,樣品高度不能超過3.5cm,長寬不超過5cm.。

主要功能

由於掃描電子顯微鏡可用多種物理信號對樣品進行綜合分析,並具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數範圍寬和景深大等特點。

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