熱場發射掃面電子顯微鏡

熱場發射掃面電子顯微鏡

熱場發射掃面電子顯微鏡是一種用於土木建築工程、機械工程、物理學領域的分析儀器,於2013年06月01日啟用。

基本介紹

  • 中文名:熱場發射掃面電子顯微鏡
  • 產地:中國
  • 學科領域:土木建築工程、機械工程、物理學
  • 啟用日期:2013年06月01日
  • 所屬類別:分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

二次電子圖象解析度:1.0nm(15KV.WD=4.0mm)1.6nm(1KV.WD=1.5mm,減模.5nm1KV.WD=1.5mm)放大倍數:低放大倍數模式20-2,000x高放大倍數模式 100-800,000x電子光學:電子槍ZrO/W基電子槍電流1pA-100nA加速電壓0.5-30KV(標準模式)著陸電壓0.1-2.0KV(減速模式)透鏡系統3級電磁線圈系統物鏡光闌4孔光闌,真空外選擇和細調樣品台:樣品台控制5軸馬達控制移動X0110mmY0110mmz1.5-40mmT-0.5O-+700R360O樣品尺寸 直徑150mm(標準)(最大)直徑200mm(可選)。

主要功能

廣泛用於冶金、生物、建築、機械等行業的材料形貌觀察和分析。

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