熱發射掃描電子顯微鏡

熱發射掃描電子顯微鏡是一種用於材料科學、化學、物理學領域的分析儀器，於2018年3月2日啟用。

基本介紹

• 中文名：熱發射掃描電子顯微鏡
• 產地：捷克
• 學科領域：材料科學、化學、物理學
• 啟用日期：2018年3月2日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

解析度：SE解析度達到或優於2 nm @ 30 kV;BSE解析度達到或優於4 nm @ 30 kV; 低真空SE解析度達到或優於4 nm @ 30 kV；低真空BSE解析度達到或優於4 nm @ 30 kV。探測器：SE, BSE, LVSE；圖像觀察模式：SE、BSE、LVSE、LVBSE；電動馬達控制低能量背散射探測器。 樣品台類型：五軸馬達驅動樣品台；樣品台行程：X 和Y ≥ 100mm，Z ≥ 80 mm; 樣品台傾斜範圍：T ≥ -10#176; to 90#176;; R = 360#176;. 樣品台最大承重≥5 Kg。

主要功能

能夠直接觀察樣品表面的微觀結構。