超高分辨掃描電鏡

超高分辨掃描電鏡

超高分辨掃描電鏡是一種用於數學領域的分析儀器,於2005年2月1日啟用。

基本介紹

  • 中文名:超高分辨掃描電鏡
  • 產地:荷蘭
  • 學科領域:數學
  • 啟用日期:2005年2月1日
  • 所屬類別:分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡
技術指標,主要功能,

技術指標

型號:Sirion 200 加速電壓:200V-30KV; 解析度:10KV,1.5nm;1KV,2.5nm;EDAX 能譜儀:133eV,Be-U。 熱場發射電子槍,配能譜儀,可用於各種固體材料的表面形貌分析與測量;用於材料的化學成份及相關成份分析。

主要功能

熱場發射電子槍,配EDAX能譜儀,高真空,系統穩定性好,解析度高,可用於各種固體材料和器件的表面形貌分析與測量;以及材料的化學成份及相關成份分析。低電壓性能穩定,特別適用於單壁碳納米管等半導體材料的形貌表征.二次電子像有HR,UHR兩種解析度模式,能譜分析包括成分的點,線分布,面分布分析等。

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