台式高分辨掃描電鏡能譜一體機

台式高分辨掃描電鏡能譜一體機是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2017年10月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：台式高分辨掃描電鏡能譜一體機
• 產地：荷蘭
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年10月6日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1.放大倍率：內置集成彩色光學顯微鏡，光學放大 20-135倍；電子放大130,000倍（非數字放大）。2.背散射電子探測器解析度： 優於14nm。3.加速電壓： 5kV-15kV連續可調。

主要功能

提供樣品形貌觀察和能譜分析微區成份。