台式掃描電鏡能譜一體機

台式掃描電鏡能譜一體機是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的分析儀器，於2017年5月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：台式掃描電鏡能譜一體機
• 產地：荷蘭
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2017年5月9日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器

技術指標

電子放大倍率：等於130,000倍；電子光學解析度：優於10nm；光學顯微鏡放大倍率：20-135倍；加速電壓： 5kV~15kV連續可調；燈絲材料：CeB6。

主要功能

具有表面成像和能譜元素點線面分析，可以準確的進行樣品表面元素的定性和定量分析。另外還具有全景圖像自動拼合，顆粒統計分析，孔徑統計分析及3D粗糙度重建等功能。