超高分辨掃描電子顯微鏡

超高分辨掃描電子顯微鏡是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2017年12月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高分辨掃描電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2017年12月22日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

15 KV：解析度０.８nm（工作距離４nm），1 KV: 1.1 nm（減速模式），5軸馬達自動驅動。

主要功能

表面形貌分析和測量，端面膜厚測量,圖形測量。