日立高分辨掃描電子顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器,於2010年3月18日啟用。
基本介紹
- 中文名:日立高分辨掃描電子顯微鏡
- 產地:日本
- 學科領域:材料科學
- 啟用日期:2010年3月18日
- 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
加速電壓0.5-30KV;高加速電壓15KV,二次電子圖像解析度1nm;低加速電壓,二次電子圖像解析度2nm;低倍模式放大倍數30X-2000X;高倍模式放大倍數100X-800000X。
主要功能
用於材料表面形貌觀察以及微區化學元素成分分析。