小型掃描電子顯微鏡

小型掃描電子顯微鏡是一種用於化學工程領域的分析儀器，於2018年11月7日啟用。

基本介紹

• 中文名：小型掃描電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：化學工程
• 啟用日期：2018年11月7日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1.加速電壓是：0.3~20 kV連續可調； 2.二次電子解析度是：4.0 nm@20 kV，15 nm@1 kV背散射電子解析度優於：5.0 nm@20 kV（低真空）: 3.放大倍數是：6~300000倍； 4.配備英國牛津儀器AZtecOne電製冷能譜儀和日本日立MC1000離子濺射儀。

主要功能

形貌分析。