攜帶型電子掃描顯微鏡

攜帶型電子掃描顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2019年7月16日啟用。

基本介紹

• 中文名：攜帶型電子掃描顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2019年7月16日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

二次電子解析度：≤4.0nm@20kV，15nm@1kV；背散射電子解析度：≤5.0nm@20kV（低真空）；放大倍數：6~300000倍；五軸馬達台；X射線能譜儀。

主要功能

微納結構表面形貌表征、X射線能譜分析。