掃描式電子顯微鏡是一種用於材料科學、紡織科學技術領域的分析儀器，於2016年10月28日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描式電子顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：材料科學、紡織科學技術
- 啟用日期：2016年10月28日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
放大倍數：5-300000倍；解析度：高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空：4.0nm(30KV) ；電子槍：全自動，亦可手動調整；樣品台：大全對中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉：360度；燈絲：工廠預對中燈絲（鎢）；圖像模式： 二次電子像，成份像，拓撲像，陰影像；加速電壓：5-30KV ； 聚光鏡：可變焦聚光鏡； 物鏡：超級錐形物鏡； 物鏡光闌：3檔，X-Y可細調； 電位移：±50微米； 自動功能：聚焦，亮度，襯度，消像散； 最大樣品：直徑為150mm； 樣品交換：抽拉式樣品台； 真空系統：全自動擴散泵DP。
主要功能
JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統合於一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制，操作員只用一隻滑鼠，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。
