掃描式電子顯微鏡-X射線能譜儀是一種用於物理學、化學、材料科學領域的分析儀器，於2010年3月17日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描式電子顯微鏡-X射線能譜儀
- 產地：日本
- 學科領域：物理學、化學、材料科學
- 啟用日期：2010年3月17日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
硬體：倍率：15～100000，觀察範圍：9(H)×7(V)mm～1.3(H)×1(V)mm，解析度：8nm，觀察兩次電子圖像和反射電子圖像，觀察模式：高真空、低真空（3-260Pa），顯示解析度：觀察640×480，攝影1280×960，幀頻：4.5(F)/s，圖像保存格式：TIFF、JPG、AVI、EXE，加速電壓：0.5－20kV 電子束：鎢絲夾、牽引盒式 1.10最大測試尺寸：＞60mm ，載物台5軸（X、Y、Z、旋轉、傾斜），彩色攝像機，專用工作站，電壓AC100V±10%，功率＜1500VA ，溫度15～30℃，濕度＜70% ，外觀尺寸：寬400×高1000×長700mm，外部泵：寬500×高370×長170mm，具有外接X射線能譜儀硬體； 40mm測試材料彩色全景圖，自動調整光軸、變焦、象散、亮度對比度、全自動，畫圖平均次數1－128次，自動高速畫圖，圖像修正，自動除帶電，可在標註文字、符號，具有保存圖像改善功能，可計算兩點間距、半徑、直徑、圓心距、角度、平行線間距、面積等，3D觀察，3D計算測試材料任意區間外觀、顯示高度、界面比較，具有與外接X射線能譜儀使用的配套軟體。
主要功能
主要用於觀察材料表面的微細形貌、斷口及內部組織，並對材料表面微區成分進行定性和定量分析。
