能量色散X射線譜(英文全稱：Energy Dispersive Spectroscopy)的原理：利用不同元素的X射線光子特徵能量不同進行成分分析。
基本介紹
- 中文名：能量色散X射線譜
- 外文名：Energy Dispersive Spectroscopy
- 優點：能譜儀探測X射線的效率高
- 缺點：解析度低
定義,簡介,比例法,用途,優點,缺點,
定義
能量色散X射線譜是指在透射和掃描電鏡中使用X射線能譜儀分析試樣化學成分的方法及可得到的譜圖。
簡介
X射線能譜儀用敏視窗一漂移鋰矽探測器，可探測從鈉至鈾的元素。改用薄視窗或無視窗，可探測元素擴展至輕元素。
比例法
透射電鏡中薄試樣的定量分析採用Cliff-Lorimer法，又稱比例法，Ca/Cb=KabIaIb，式中Kab，是與樣品原度和濃度無關的因子，Ca，Cb分別為a,b元素在樣品中的含量，由計算或實驗得到,Ia，Ib分別為電子入射至含有a,b兩元素的樣品後產生的特徵X射線強度。掃描電鏡中厚試樣定量分析採用ZAF(原子序數效應、吸收效應、螢光效應)修正。
用途
X射線能譜在透射掃描電鏡中與掃描功能配合可得元素分布圖。套用電子通道增強效應還可以測定雜質元素或合金元素在有序化合物中占據亞點陣位置的百分數。
優點
（1）能譜儀探測X射線的效率高；
（2）在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數，在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特徵波長；
（3）結構簡單，穩定性和重現性都很好；
（4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適於粗糙表面分析。
缺點
（1）解析度低；
（2）能譜儀只能分析原子序數大於11的元素；而波譜儀可測定原子序數從4到92間的所有元素；
（3）能譜儀的Si(Li)探頭必須保持在低溫態，因此必須時時用液氮冷卻。
