EMPA

EMPA:電子顯微探針是指用聚焦很細的電子束照射要檢測的樣品表面,用X射線光譜儀測量其產生的特徵X射線的波長和強度。由於電子束照射面積很小,因而相應的X射線特徵譜線將反映出該微小區域內的元素種類及其含量。

基本介紹

  • 中文名:EMPA
  • 外文名:--Electron microprobe analysis
  • 解釋:用聚焦很細的電子束照射要檢測
  • 分析方法:.點分析等
  • 儀器:波譜儀
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探針分析

EMPA--Electron microprobe analysis

基本原理

電子顯微探針是指用聚焦很細的電子束照射要檢測的樣品表面,用X射線光譜儀測量其產生的特徵X射線的波長和強度。由於電子束照射面積很小,因而相應的X射線特徵譜線將反映出該微小區域內的元素種類及其含量。
利用特徵X射線波長來確定元素的叫做波譜儀(WDS),利用特徵X射線能量不同來展譜的就稱為能譜儀(EDS)。

電子探針

利用電子顯微探針原理和技術來分析樣品的儀器。
儀器構造:主要由電子光學系統(鏡筒),X射線譜儀和信息記錄顯示系統組成。
1.電子光學系統
為了提高X射線的信號強度,電子探針必須採用較掃描電鏡更高的入射電子束流,常用的加速電壓為10-30 KV,束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分加裝光學顯微鏡,以選擇和確定分析點 。
2.X射線譜儀
電子束轟擊樣品表面將產生特徵X射線,不同的元素有不同的X射線特徵波長和能量。通過鑑別其特徵波長或特徵能量就可以確定所分析的元素。利用特徵波長來確定元素的儀器叫做波長色散譜儀(波譜儀WDS),利用特徵能量的就稱為能量色散譜儀(能譜儀EDS)。

分析方法

1.點分析:用於測定樣品上某個指定點的化學成分。
2.線分析:用於測定某種元素沿給定直線分布的情況。
將WDS、EDS固定在所要測量的某元素特徵X射線信號(波長或能量)的位置上,把電子束沿著指定的方向做直線掃描,便可得到該元素沿直線特徵X射線強度的變化,從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。
3.面分析:用於測定某種元素的面分布情況。
將WDS、EDS固定在信號位置上,電子束在樣品表面做二維光柵掃描,便可得到該元素的面分布圖像。

材料實驗所

EMPA-Eidgenossische Material-prufungsanstalt

協會

EMPA-European Metal Working Plantmakers Association

在職碩士

EMPA-Ex-ecative Master of Public Administration

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