掃描電子顯微鏡-能譜儀是一種用於物理學、化學、生物學、冶金工程技術領域的分析儀器，於2009年8月31日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描電子顯微鏡-能譜儀
- 產地：日本
- 學科領域：物理學、化學、生物學、冶金工程技術
- 啟用日期：2009年8月31日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
二次電子像解析度：1.0nm(15kv)；1.4nm(1kv,減速模式)；2.0nm (1kV)普通模式；加速電壓：0.5 ~ 30kV；放大倍率：×20 ~ ×800,000；可觀察二次電子像和背散射電子像。能譜儀部分：牛津能譜儀INCA Energy 350：Si(Li) 探測器 ，MnKα處解析度優於133eV ，分析元素範圍：Be4-U92。
主要功能
可觀察物體二次電子像、被散射電子像。主要套用於生物、物理、化學、納米材料、金屬材料、地質礦物、高分子材料等方面的表面形貌觀察、粒度大小測量、失效分析等（纖維的鑑別與品質鑑定、薄膜材料表面特徵、粒子形態、分布及薄膜氣孔大小與分布，薄膜缺陷、催化劑表面形態及粒度分布測定、古生物化石、昆蟲的形態觀察及分類、動物器官的微觀形態研究及病理臨床診斷、高分子複合材料中部分結晶高聚物的球經大小，完善程度，斷口的形態特點）。微區元素成分分析，適用於生物學、醫學、化學、化工學、物理學、金屬學等相關學科的有關物體的微區元素定性、半定量及定量分析。
