桌面電子掃描顯微鏡

桌面電子掃描顯微鏡

桌面電子掃描顯微鏡是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的分析儀器,於2016年11月24日啟用。

基本介紹

  • 中文名:桌面電子掃描顯微鏡
  • 產地:美國
  • 學科領域:工程與技術科學基礎學科
  • 啟用日期:2016年11月24日
  • 所屬類別:分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

①電子槍:場發射電子源 ②加速電壓:0.5 to 2 kV ③束流:0.2 to 1 nA ④解析度:<10 nm (@1kV) ⑤放大倍數:250 to 130,000x (2048×2048pixels) ⑥ 樣品尺寸:最大 50×30 mm ⑦ 樣品高度:最大 30 mm。

主要功能

利用場發射電子束經過光路調控後,投射到樣品表面,通過檢測激發的二次或背散射電子進行樣品表面形貌成像。

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