低電壓掃描透射電子顯微鏡

低電壓掃描透射電子顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2018年12月21日啟用。

基本介紹

• 中文名：低電壓掃描透射電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年12月21日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

二次電子解析度：優於0.6nm（30kV）；優於0.9nm（1kV）；STEM解析度：優於0.4nm。

主要功能

可高效率的獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像，EXB系統可以自由控制SE和BSE檢測信息，全新真空技術設計使其具有超穩定和高亮度特點。STEM的明場像能夠調整信號檢測角度，明場像、暗場像和二次電子圖像可同時顯示、拍攝。