肖特基場發射掃描電子顯微鏡是一種用於物理學、化學、生物學、材料科學領域的分析儀器，於2017年3月22日啟用。
基本介紹
- 中文名：肖特基場發射掃描電子顯微鏡
- 產地：美國
- 學科領域：物理學、化學、生物學、材料科學
- 啟用日期：2017年3月22日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
解析度 1.2nm @ 15kV，1.5nm @ 10kV； 能譜解析度133eV(Mn Ka)，分析元素B（5）-- U（92） 陰極螢光： 300 nm — 900 nm。
主要功能
本儀器具有電子槍亮度高、束流穩定，圖像解析度高、景深大等特點，放大倍率100~300000倍連續可調，可觀察物體二次電子像、背散射電子像，同時可進行X射線能譜分析和陰極螢光光譜分析： 1．固體物質表面形貌觀察 2．背散射電子像（BSE） 3．X射線能譜（EDS） 4．陰極螢光光譜（CL）。
