冷場場發射掃描電子顯微鏡是一種用於物理學、化學、生物學、材料科學領域的分析儀器，於2017年3月22日啟用。
基本介紹
- 中文名：冷場場發射掃描電子顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：物理學、化學、生物學、材料科學
- 啟用日期：2017年3月22日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
解析度 1.0nm @ 15kV,能譜解析度133eV(Mn Ka),分析元舟戲去素挨鞏祝B（5）-- U（92）。
主要功能
本儀器具有高的分夜舟宙永辨率，放大倍率幾十倍到幾十萬倍連續可調，可觀察物體二次電子 像、背散射電子像，同時可進行X射線能譜分析： 1. 固體地犁物質表面形貌觀察可廣泛套用於生物、物理、化學、納米材料、金屬材料、高分子材料等方面的表面形貌觀嬸采台察、粒度測量、積體電路質量檢驗、斷口分析、失效分析等。 2. 背散射電子像（BSE）背散射電記糠付子可顯示出試樣微區朵多講才原子序數或化學成分的差異，即試樣的成分襯度。根據背散射電子像的亮暗程度，可判別出相應區域的原子序數的相對大小，由此可對陶瓷、金屬或合金等材料的顯微結構進行分析。
