6寸雷射干涉儀

6寸雷射干涉儀是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的科學儀器，於2012年12月19日啟用。

基本介紹

• 中文名：6寸雷射干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2012年12月19日

技術指標

1、測量重複性：σ_PV≤0.005λ σ_rms≤0.001λ 2、最大允許誤差Δ_PV≤0.05λ Δ_rms≤0.01λ。

主要功能

光學參數測試。