雷射數字干涉儀

雷射數字干涉儀

雷射數字干涉儀是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的科學儀器,於2010年11月30日啟用。

基本介紹

  • 中文名:雷射數字干涉儀
  • 產地:美國
  • 學科領域:信息與系統科學相關工程與技術
  • 啟用日期:2010年11月30日
技術指標,主要功能,

技術指標

1、測量重複性:σ_PV≤0.005λ σ_rms≤0.001λ 2、最大允許誤差Δ_PV≤0.05λ Δ_rms≤0.01λ。

主要功能

光學參數測試。

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