形貌測量儀是一種用於動力與電氣工程領域的儀器，於2010年9月2日啟用。
形貌測量儀是一種用於動力與電氣工程領域的儀器，於2010年9月2日啟用。技術指標測量範圍：小於等於100 mm 干涉儀感測器解析度： 1020×1024 像素 測量結果： PV重複精度：1/1000λ RMS 重複精度：...
光學式形貌測量儀 光學式形貌測量儀是一種用於物理學、生物學、基礎醫學、材料科學領域的計量儀器，於2010年2月14日啟用。技術指標 Z Range:2.2mm after stiching＞10mm Resolution:0.01nm。主要功能 通過光學的方法，非接觸測量樣品的三維表面形貌。
磨斑表面形貌測量儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2019年12月17日啟用。技術指標 Z聚焦精度不低於1μm ，Z向解析度優於1μm；熱處理及分析模組：可微小磨損樣品、局部材料提取物等進行加熱氧化、低溫處理。溫度範圍：-150℃~450℃；溫控精度0.01℃。主要功能 符合人機工程學原理的高性能主機，主機變倍比...
表面形貌儀 表面形貌儀是一種用於材料科學領域的計量儀器，於2007年12月12日啟用。技術指標 1.重複性7.5？ 2.最大測量範圍80mm 3.垂直測量範圍327um 4.垂直解析度13um,0.01 ？ 5.垂直解析度64um, 0.04？ 6.垂直解析度327um,0.2？。主要功能 該儀器用於有機高分子發光顯示屏的表面形貌測試。
《新型表面形貌測量儀器》首先系統地對表面形貌測量儀器的發展進行了綜述，然後從原理、結構、信號處理、軟體設計等方面論述了基於微恆力位移感測器的表面形貌測量系統、基於雷射聚焦伺服式感測器的輪廓儀、基於雷射干涉測量的輪廓儀等三種表面形貌測量儀器，最後論述了表面形貌測量儀器的關鍵部件——運動工作檯。全書力求具...
自動變焦三維表面測量儀是一種用於機械工程領域的科學儀器，於2017年4月21日啟用。技術指標 1.產品功能：（1）產品測量方式採用面掃描方式，符合ISO25178-6標準；（2）表面三維形貌測量；（3）線粗糙度測量；（4）面粗糙度測量；（5）二維尺寸形狀測量；（6）體積，面積測量；（7）Real3D測量，全自動測量圓柱試樣...
VR-5200垂直測量範圍：0-300um （5）VR-5200工作距離：11mm （1）主機X軸行程：184mm （2）主機部分Z軸測量範圍：240mm （3） 主機X及Z軸定位解析度：0.1um （4）VR-5200垂直測量範圍：0-300um （5）VR-5200工作距離：11mm。主要功能 無損化監測粗糙度及微觀形貌、納米級解析度、兼容各種2D及3D標準。
於2013年1月8日啟用。技術指標 Z方向範圍: 0-327μm，精度≤0.1 nm ；台階高度重現性≤0.6nm； 探針半徑2um，壓力0.5 - 50mg可調、可恆定壓力控制 單次掃描長度最大80mm； 8英寸樣品台，定位精度2um。主要功能 用於樣品表面的兩維和三維形貌，厚度，表面粗糙度，薄膜應力測量。
SPM表面形貌非接觸測量儀的研製 SPM表面形貌非接觸測量儀的研製是由清華大學精密儀器系完成的科技成果，登記於1994年10月31日。成果信息
優可測Atometrics是板石智慧型旗下專注於檢測領域的國產自主品牌。致力為客戶提供三維形貌測量產品、解決方案及相關服務。優可測主要產品包含白光干涉儀、線雷射測量儀、光譜共焦位移感測器、薄膜厚度測量儀、衍射三維形貌儀等不同原理的3D精密檢測測量光學儀器和線上測量單元。用於半導體、光學鏡片、材料、3C消費類電子、醫療...
台階儀屬於接觸式表面形貌測量儀器。根據使用感測器的不同，接觸式台階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是：當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由於表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。感測器輸出的電信號經測量電橋後，輸出與觸針偏離...
三維干涉顯微鏡是一種用於機械工程、力學、物理學、航空、航天科學技術領域的物理性能測試儀器，於2011年06月09日啟用。技術指標 無接觸式測量物體表面三維形貌及粗糙度等。材料表面形貌測試。主要功能 在0.1nm到10mm的垂直掃描範圍內提供了快速、高精度的三維表面形貌測量功能，適用於測量薄膜厚度、機加工粗糙度、醫療...
