SPM表面形貌非接觸測量儀的研製

SPM表面形貌非接觸測量儀的研製是由清華大學精密儀器系完成的科技成果，登記於1994年10月31日。

基本介紹

• 中文名：SPM表面形貌非接觸測量儀的研製
• 類別：科技成果
• 完成單位：清華大學精密儀器系
• 登記時間：1994年10月31日

成果信息

成果名稱	SPM表面形貌非接觸測量儀的研製
成果完成單位	清華大學精密儀器系
批准登記單位	北京市科學技術委員會
登記日期	1994-10-31
成果登記年份	1994