三維干涉顯微鏡

三維干涉顯微鏡是一種用於機械工程、力學、物理學、航空、航天科學技術領域的物理性能測試儀器，於2011年06月09日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維干涉顯微鏡
• 產地：德國
• 學科領域：機械工程、力學、物理學、航空、航天科學技術
• 啟用日期：2011年06月09日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 顆粒度測量儀器 > 孔隙度／比表面測量儀

技術指標

無接觸式測量物體表面三維形貌及粗糙度等。材料表面形貌測試。

主要功能

在0.1nm到10mm的垂直掃描範圍內提供了快速、高精度的三維表面形貌測量功能，適用於測量薄膜厚度、機加工粗糙度、醫療器械、光學器件、LED形貌等。