3D輪廓測量儀

3D輪廓測量儀是一種用於力學、物理學領域的物理性能測試儀器，於2019年5月13日啟用。

基本介紹

• 中文名：3D輪廓測量儀
• 產地：日本
• 學科領域：力學、物理學
• 啟用日期：2019年5月13日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

（1）主機X軸行程：184mm （2）主機部分Z軸測量範圍：240mm （3） 主機X及Z軸定位解析度：0.1um （4）VR-5200垂直測量範圍：0-300um （5）VR-5200工作距離：11mm （1）主機X軸行程：184mm （2）主機部分Z軸測量範圍：240mm （3） 主機X及Z軸定位解析度：0.1um （4）VR-5200垂直測量範圍：0-300um （5）VR-5200工作距離：11mm。

主要功能

無損化監測粗糙度及微觀形貌、納米級解析度、兼容各種2D及3D標準。