小型數字波面干涉儀

小型數字波面干涉儀是一種用於物理學領域的計量儀器，於2009年9月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：小型數字波面干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2009年9月1日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀標準裝置

技術指標

25/λ 直線度測量精度0.1μm。

主要功能

精密光學元件的表面面形和透射波陣面的檢測 可以測量位移、速度、振動、直線度、矩形平面度、旋轉角度、平行度。