移相干涉儀

移相干涉儀是一種用於物理學領域的計量儀器，於2009年11月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：移相干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2009年11月30日
• 所屬類別：計量儀器 > 光學計量儀器

技術指標

雷射數字波面移相干涉儀1台，可以實現平面面形、球面面形檢測，面形測量精度優於λ/5峰谷值（波長632.8nm）。

主要功能

用於光學鏡頭和光學元件的球面和平面面形的高精度測量。