平面干涉儀（flat interferometer）是2015年公布的計量學名詞。
基本介紹
- 中文名：平面干涉儀
- 外文名：flat interferometer
- 所屬學科：計量學
- 公布時間：2015年
定義,出處,
定義
以平面光波作為參考標準,利用光的干涉原理測量平面面形誤差的儀器。
出處
《計量學名詞》第一版。
平面干涉儀
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一種分波面雙光束干涉儀。1920年，美國物理學家邁克耳孫設計製成，用來測量星體的角寬度。其原理如圖1所示。S和S₂為雙縫，M₁、M₂、M₃和M₄為四塊平面鏡，來自遠方星體的平行光被M₁和M₂反射，再被M₃和M₃反射，入射到雙縫S₁和S₂上。從雙縫出射的兩束光，在物鏡L的後焦面上...
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剪下干涉儀分為切向剪下、法向剪下和旋轉剪下等類型：切向剪下干涉儀通常是一塊平行平面板或略呈角度的劈尖，準直光源入射到平行平面板上就形成了兩束錯開的相干光；而法向剪下干涉儀則類似於斐索干涉儀和特懷曼－格林干涉儀。剪下干涉儀的優點是省去了作為參考的光學表面，結構簡單且兩束相干光的光程基本相等，而缺點...
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麥可遜干涉儀是利用分振幅法產生的雙光束干涉 從光源S 發的光照射到分光鏡G1上，光被分成兩束，反射光入射到平面反射鏡M1,透射光經補償鏡G2入射到平面反射鏡M2，兩束光分別被M1、M2反射，重新在G1處會合，若滿足相干條件就會產生干涉效應。麥可遜干涉儀產生干涉的原理與“空氣平板”所產生的干涉相同，在測量光...
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在汽油中清洗、烘乾，重新塗硬性潤滑油脂（杭光 3#或 7107 油脂），重新裝配時可在平面軸承與讀數盤之間 加 0.2mm 的金屬墊片，手感磨擦力有所增加後，依次重新裝配，再進行測量檢查。干涉儀的維護 1、儀器應妥善地放在乾燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座，以防導軌變形。2、光學零件不用...
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- 物理光學(第5版)
37楔形平板產生的干涉 371定域面的位置及定域深度 372楔形平板產生的等厚條紋 373等厚條紋的套用 38用牛頓環測量透鏡的曲率 半徑 381測量原理及精確度 382檢驗光學零件表面質量 *39平面干涉儀 310邁克耳孫干涉儀 *311泰曼干涉儀和傅立葉變換 光譜儀 3111泰曼...
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套用此原理的光學計量儀器有：大、中、小型投影儀、專用的公差帶投影儀等。光干涉系統主要性能是有很高的檢測精度。它是以光波波長作：“尺子”，實現了對表面粗糙度、長度微小變化等幾何量的高精度測量。套用此原理的光學計量儀器有平面平晶等厚干涉儀、接觸式干涉儀、干涉顯微鏡等。
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要求達到的指標是：整個光學系統最後的綜合干涉條紋為1/2條紋。李德培控制每個面均為直條紋，並用自製的平面干涉儀對每個面進行拍照、留檔。由於當時He-Ne雷射管尚在試製當中，一時拿不出來，耽誤了十幾個月。到1969年中，才拿到一支雷射管，長約1.5m，是外腔式，電源也很笨重。就這樣他把兩塊錐體稜鏡的光學...
- 陳耀煌
合作研製成“自動測量基準量塊的雷射量塊干涉儀”，獲1980年國家發明三等獎；完成“光學細分干涉儀及建立/100平面標準”課題，獲1986年國家計量局計量科學進步三等獎；研製成“雷射標準旋光儀(糖量計)”，獲1991年國家技術監督局科學技術進步三等獎；完成“建立高精度平面標準——雷射光外差平面干涉儀”的研製，獲...
- 劉世傑(中國科學院上海光學精密機械研究所博導)
（ 9 ） 24吋雷射平面干涉儀超高精度面形檢測技術功能開發, 主持, 部委級, 2018-09--2019-09 （ 10 ） 高解析度高效自動XXX檢測設備, 主持, 國家級, 2019-06--2021-06 （ 11 ） 多波長高精度雷射平面干涉儀, 主持, 部委級, 2020-01--2021-12 （ 12 ） 大口徑反射式干涉曝光技術, 主持, 國家級,...
