標定雷射干涉儀

標定雷射干涉儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2016年12月23日啟用。

基本介紹

• 中文名：標定雷射干涉儀
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2016年12月23日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀

技術指標

測量範圍：15米；測量分辨力：優於0.1nm；測角範圍：正負5度；角度分辨力：優於0.01角秒；直線度測量範圍：正負4mm；直線度測量分辨力：10nm。

主要功能

測量位移，角度變化和直線度。