雙光束雷射干涉儀

雙光束雷射干涉儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2016年11月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙光束雷射干涉儀
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2016年11月28日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器 > 雷射光譜儀

技術指標

解析度： ≤1 pm（X晶向的石英）；測量範圍：5pm- +/-25nm；形變Displacement/應院察拳變strain測量：頻率範圍50Hz到5kHz，內置電壓範圍100mV到10V；C-V測試：基電壓兵船罪100mV到10V（1mHz到1Hz），小信號100mV到10V（1kHz到10kHz）。

主要功能

測試薄膜機電大信號應拔阿變、極化、市龍重立壓電係數、只罪淚小信號介電常數。薄膜疲勞和閥盛嚷全電性能及機械性能可邀糠紋靠性。