動態雷射干涉儀

動態雷射干涉儀是一種用於物理學領域的計量儀器，於2014年11月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：動態雷射干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2014年11月12日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀

技術指標

（1）口徑：Ф100mm；（2）光源：HeNe雷射，IIIa級，波長：632.8nm；★（3）設備測量原理要求：基於載波法測試原理Fizeau動態干涉系統，同一光路增加移相模式進行高精度計量檢測。同時具有機械移相測量和動態模式測量功能；★（4）RMS的測量重複性≤λ/10,000(2？)；★（5）RMS精度：≤0.002？；★（6）CCD：1.2K×1.2K，10bit；從35mm-100mm口徑都能現實1.2K×1.2K像素進行分析；CCD幀速50Hz（600×600像素：82Hz）；★（7）具有。

主要功能

基於載波法測試原理Fizeau動態干涉系統，同一光路增加移相模式進行高精度計量檢測。同時具有機械移相測量和動態模式測量功能。