干涉儀系統是一種用於物理學領域的計量儀器，於2012年10月05日啟用。
基本介紹
- 中文名：干涉儀系統
- 產地：美國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2012年10月05日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀
技術指標,主要功能,
技術指標
薄面測量精度達到波長的20分之一以上。
主要功能
光學面型、均勻性等檢測。
干涉儀系統
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干涉儀系統 干涉儀系統是一種用於物理學領域的計量儀器，於2012年10月05日啟用。技術指標 薄面測量精度達到波長的20分之一以上。主要功能 光學面型、均勻性等檢測。
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