非索型雷射干涉儀是一種用於預防醫學與公共衛生學領域的分析儀器，於2009年11月10日啟用。
基本介紹
- 中文名：非索型雷射干涉儀
- 產地：美國
- 學科領域：預防醫學與公共衛生學
- 啟用日期：2009年11月10日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1.使用氦氖雷射，工作波長為632.8nm，平面最大可測量口徑150mm。2.空間取樣1K*1K像素。數據採樣時間：低解析度（7幅數據圖像）：93ms；高解析度（13幅數據圖像）：173ms3.三平面測試重複精度2.0nm，粗糙度重複精度0.1nm。4.解析度優於λ/8000，條紋解析度為180條紋5.平板測量λ/300（2a）；RMS重複性λ/10000(2a)。
主要功能
運用移相干涉原理，提供高精度的平面面形、球面面形，曲率半徑。透過波前、楔角傳輸波前的測量和分析。廣泛用於半導體、光學製造、通訊、光學製造、通訊、醫療、航天、汽車製造和消費電子等生產和科研領域。
