六維雷射干涉儀

六維雷射干涉儀是一種用於機械工程領域的物理性能測試儀器，於2011年2月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：六維雷射干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2011年2月1日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

線性精度：0.5ppm ，測量範圍：40米，直線度精度：（1+0.2/m）um ，最大測量範圍： +/-500um +/-800角秒 ，偏擺角和俯仰角精度：（1.0+0.1/m）垂直度精度：+/-1角秒。

主要功能

可以測量工具機等設備的定位精度、xx及yy方向的直線度、俯仰角、偏擺角及滾動角。