zygo雷射干涉儀

zygo雷射干涉儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2009年12月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：zygo雷射干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2009年12月18日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

640 x 480 CCD；光束直徑4″(102 mm)；解析度 λ/8,000；條紋解析度3180條紋；氦-氖雷射波長632.8 nm；相干長度＞100 m；樣件尺寸範圍254 x 203 x 203 mm。

主要功能

主要用於反射面或光學面的形貌表征；基於雷射3維相移干涉法。