水平干涉儀

水平干涉儀

水平干涉儀是一種用於物理學領域的計量儀器,於2006年08月11日啟用。

基本介紹

  • 中文名:水平干涉儀
  • 產地:美國
  • 學科領域:物理學
  • 啟用日期:2006年08月11日
  • 所屬類別:計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀
技術指標,主要功能,

技術指標

口徑450mm(18英寸)內平面反射鏡精度達到十分之一波長(6328nm)。全口徑儀器的測量精度為為十分之一波長。

主要功能

測量口徑小於450mm的平面反射鏡;選擇不同F數的球面標準鏡,可以測量球面反射鏡;選擇適當的光路,可以對非球面的面形精度進行定量測量。

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