雷射平面度移相干涉儀

雷射平面度移相干涉儀是一種用於工程與技術科學基礎學科、物理學領域的計量儀器，於2012年5月7日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射平面度移相干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科、物理學
• 啟用日期：2012年5月7日
• 所屬類別：計量儀器 > 光學計量儀器

技術指標

測量精度1/20波長（PV）。

主要功能

測量工件平面度等表面參數。