曾愛軍(中國科學院上海光學精密機械研究所研究員)

曾愛軍，中國科學院上海光學精密機械研究所研究員。

基本介紹

• 中文名：曾愛軍
• 畢業院校：中國科學院研究生院 
• 職稱：研究員、博士生導師 
• 最高學歷：博士 

研究領域

偏振光技術及其套用、光學系統設計與仿真、精密光電檢測技術及儀器、光學生物特徵識別與生物感測。

教育背景

2002-09--2005-06，中國科學院研究生院，博士研究生

1999-09--2002-06，武漢大學，碩士研究生

1995-09--1999-06，武漢測繪科技大學，本科

工作經歷

2003.01--2007.06，中國科學院上海光學精密機械研究所，助理研究員

2007.07--2012.08，中國科學院上海光學精密機械研究所，副研究員

2012.08至今，中國科學院上海光學精密機械研究所，研究員

專利成果

（ 1 ） 四分之一波片快軸方位實時測量裝置和方法, 發明, 2010, 第 1 作者, 專利號: ZL200810040614.7

（ 2 ） 用於同步移相干涉儀的空間移相器, 發明, 2010, 第 1 作者, 專利號: ZL200810040613.2

（ 3 ） 線起偏器, 發明, 2013, 第 2 作者, 專利號: ZL201110410079.1

（ 4 ） 四分之一波片相位延遲量分布實時測量裝置和測量方法, 發明, 2014, 第 1 作者, 專利號: ZL201110371987.4

（ 5 ） 八分之一波片相位延遲量測量裝置和測量方法, 發明, 2014, 第 2 作者, 專利號: ZL201110433699.7

（ 6 ） 線性雙折射測量裝置和測量方法, 發明, 2014, 第 1 作者, 專利號: ZL201210193165.6

（ 7 ） 光刻照明模式產生裝置, 發明, 2014, 第 3 作者, 專利號: ZL201310092523.9

（ 8 ） 軸錐鏡透射波面的測量方法, 發明, 2014, 第 2 作者, 專利號: ZL201210297844.8

（ 9 ） 光刻照明系統, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201310030574.9

（ 10 ） 產生投影光刻照明模式的裝置, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201310037656.6

（ 11 ） 光刻環形照明模式產生裝置, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201310422536.8

（ 12 ） 波片相位延遲量與快軸方位角的實時測量裝置和方法, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201210074732.6

（ 13 ） 步進掃描投影光刻機的照明系統, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201310270245.1

（ 14 ） 相位延遲量分布和快軸方位角分布實時測量裝置和方法, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201210199435.4

（ 15 ） 空間移相橫向剪下干涉儀, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201310167236.X

（ 16 ） 兩個光束在同一入射面的位置與角度同時測量裝置, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201310126130.5

（ 17 ） 線性雙折射測量裝置和測量方法, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201310250980.6

（ 18 ） 用於雷射電漿極紫外光刻光源純化濾波裝置, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201310093540.4

（ 19 ） 正弦相位調整器峰值延遲量的標定裝置和標定方法, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201210506361.4

（ 20 ） 軸錐鏡面形的測量裝置和測量方法, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201210431104.9

（ 21 ） 高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201210573251.X

（ 22 ） 光束位置和角度的調節裝置, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201310016305.7

（ 23 ） 雷射脈衝拉伸裝置, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201310371256.9

（ 24 ） 深紫外投影光刻機的照明裝置及使用方法, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL201310428685.5

（ 25 ） 投影光刻機照明裝置和使用方法, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201310307405.5

（ 26 ） 雙平板偏振移相剪下干涉儀, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201310346686.5

（ 27 ） 四分之一波片相位延遲量的測量裝置和測量方法, 發明, 2016, 第 1 作者, 專利號: ZL201310250418.3

（ 28 ） Lithography illumination system, 發明, 2016, 第 1 作者, 專利號: US9400433B2

（ 29 ） Device and method for measuring phase retardation distribution and fast axis angle distribution in real time, 發明, 2016, 第 1 作者, 專利號: US9297744B2

發表論文

（1） Flat Gauss illumination for the step-and-scan lithographic system, Optics Communications, 2016, 通訊作者

（2） Generation of trapezoidal illumination for the step-and-scan lithographic system, Appl. Optics, 2015, 通訊作者

（3） A method for measuring the base angle of axicon lens based on chromatic dispersion, Opt. Commun., 2015, 通訊作者

（4） Real-time measurement of retardation and fast axis azimuth for wave plates, J. Opt. Technol., 2015, 通訊作者

（5） Large-area three-dimensional profilometer based on digital micromirror device, J. Opt. Technol., 2015, 通訊作者

（6） Two-dimensional polarization distribution controller based on variable retarder array, Optik, 2014, 通訊作者

（7） Lateral shearing interferometer with variable shearing for measurement of a small beam, Opt. Lett., 2014, 通訊作者

（8） Simultaneous measurement of small birefringence magnitude and direction in real time, Opt. Lasers Eng., 2014, 通訊作者

（9） Simultaneous measurement of retardation and fast axis angle of eighth-wave plate in real time, Opt. Commun., 2012, 通訊作者

（10） Real-time Measurement of Full Field Retardation Near Quarter Wavelength, J. Opt. Soc. Korea., 2012, 通訊作者

（11） Polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film, Chin. Opt. Lett., 2012, 通訊作者

（12） Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction, Chin. Opt. Lett., 2012, 通訊作者

（13） Simultaneous measurement of small birefringence magnitude and direction in real time, Opt. Lasers Eng., 2012, 通訊作者

（14） 基於相位調製和樣品擺動的1/4波片相位延遲量測量方法 , 中國雷射, 2011, 第 2 作者

（15） 與快軸方向無關的λ/8波片相位延遲量實時測量方法, 中國雷射, 2011, 第 2 作者

（16） Simultaneous measurement of retardance and fast axis angle of a quarter-wave plate using one photoelastic modulator, Appl. Optics, 2011, 第 1 作者

（17） 基於二維光柵和檢偏器陣列的空間偏振解碼技術, 儀器儀表學報, 2010, 第 2 作者

（18） Method for Measuring Retardation of a Quarter-wave Plate Based on Normalized Secondary Harmonic Component, Optik, 2009, 第 2 作者

（19） 分束量可調的等光程平行分束技術, 光子學報, 2009, 第 2 作者

（20） Simultaneous phase-shifting ellipsometry based on grating beam splitter, Optical Engineering, 2008, 第 2 作者

（21） Real-time measurement of the fast axis angle of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique, Chinese Optics Letters, 2008, 第 2 作者

（22） Method for rapid measuring retardation of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique, Chinese Optics Letters, 2008, 第 2 作者

（23） Calibration method of the photoelastic modulator with the peak retardation less than a half-wavelength, Applied Optics, 2007, 第 1 作者