雷射干涉測量儀

雷射干涉測量儀

雷射干涉測量儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器,於2016年12月21日啟用。

基本介紹

  • 中文名:雷射干涉測量儀
  • 產地:英國
  • 學科領域:工程與技術科學基礎學科
  • 啟用日期:2016年12月21日
  • 所屬類別:計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀
技術指標,主要功能,

技術指標

標準量程: 0-40 m, 精度: ±0.5 ppm ,解析度:1 nm , 最大速率: 240 m/min (60 m/s);角度測量精度:0.2%;。

主要功能

精確測量直線位移及小角度轉動。

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