立式6英寸雷射干涉儀

立式6英寸雷射干涉儀是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的雷射器，於2016年6月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：立式6英寸雷射干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2016年6月5日
• 所屬類別：雷射器 > 雷射器 > 雷射器

技術指標

（1）測量重複性：σ_PV≤0.005λ σ_rms≤0.001λ（2）最大允許誤差Δ_PV≤0.05λ Δ_rms≤0.01λ。

主要功能

用於光學零件的面形檢測。