高性能雷射面干涉儀

高性能雷射面干涉儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2015年5月27日啟用。

基本介紹

• 中文名：高性能雷射面干涉儀
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2015年5月27日
• 所屬類別：計量儀器 > 光學計量儀器

技術指標

測量口徑：4英寸調整架自由度：五軸；相機解析度：1024x1024；測量系統峰-谷值(PV)的重複性優於 l/300 波長， PV；測量系統均方根值(RMS)的重複性優於 l/100。

主要功能

光學器件測量。