《波導相移型雷射自混合干涉儀測量微納米技術的研究》是依託南京師範大學，由王鳴擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：波導相移型雷射自混合干涉儀測量微納米技術的研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：王鳴
- 依託單位：南京師範大學
- 負責人職稱：教授
- 批准號：50375074
- 申請代碼：E0511
- 研究期限：2004-01-01 至 2006-12-31
- 支持經費：24（萬元）
項目摘要
本項目研究波導相移型雷射自混合干涉儀以及用於MEMS的微納米測量技術。針對微器件和MEMS的微納米測量的要求，以及現有的雷射自混合干涉儀器工作距離長和測量精度僅在微米的技術狀況，把雷射自混合干涉理論和高精度的相移測量技術結合，研究電光晶體（EO）調製和解調位相的方法，用微加工工藝形成微型干涉儀，即干涉探頭。微型干涉儀容易與顯微鏡和MEMS匹配，監視和測量物體的變化。開發基於LabView的虛擬儀器。測量物體的光程和對比度的時間和空間變化，高精度地測量絕對距離和位移，並將雷射自混合干涉測量精度提高到1納米。這對於微小尺寸測量領域，對於微機械，MEMS和航空航天等領域的發展，有很重要的意義。
