高精度雙頻雷射干涉測量系統

高精度雙頻雷射干涉測量系統是一種用於機械工程領域的科學儀器，於2012年6月14日啟用。

基本介紹

• 中文名：高精度雙頻雷射干涉測量系統
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2012年6月14日

技術指標

量程：380mm*380mm*150mm解析度：0.15mm；速度：500m/sX、y、Z線性位移測量實時反饋。

主要功能

雷射干涉儀長行程、短行程精密位移測量。