雙頻雷射干涉測量系統

雙頻雷射干涉測量系統是一種用於機械工程領域的科學儀器，於2013年9月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙頻雷射干涉測量系統
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2013年9月26日

技術指標

量程：1mm~10mm，解析度：0.15nm，3軸同步測量，測量精度：優於10nm。

主要功能

主要用途：納米級運動測量主要功能：測量工件台運動過程中的水平三自由度位姿，並實時反饋。