雷射干涉測量系統是一種用於工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的計量儀器,於2008年03月10日啟用。
基本介紹
- 中文名:雷射干涉測量系統
- 產地:英國
- 學科領域:工程與技術科學基礎學科、材料科學
- 啟用日期:2008年03月10日
- 所屬類別:計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀
雷射干涉測量系統是一種用於工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的計量儀器,於2008年03月10日啟用。
目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以麥可遜干涉儀為主,並以穩頻氦氖雷射為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。雷射干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,並...
雷射干涉測試系統是一種用於材料科學領域的分析儀器,於2016年12月28日啟用。技術指標 工作溫度:0℃到40℃ ; 真空波長:632.991354nm ; 波長穩定性:短時間(1h)±0.002ppm;長時間(壽命期)±0.02ppm ;壽命期:平均無故障時間...
三維位置雷射干涉測量系統是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器,於2016年12月20日啟用。技術指標 基準頻率2.4MHZ-3.0MHz, 1小時內真空頻率穩定度0.004ppm,解析度0.15nm。主要功能 長度及角度測量。
1nm以下,數據採集率50KHz對雷射干涉儀測量的位移、角度、直線度等數據用實時曲線來顯示、記錄、分析。主要功能 XL-80雷射干涉儀系統便攜性、系統精度及動態測量性能高。使用更快捷、方便,並且保留了純粹干涉測量系統的優點。
測量儀器配有專門設計的多重數字濾波器,使空氣波動及溫度的梯度變化引起的測量誤差降到最小。干涉儀帶有自動氣壓、環境溫度和材料溫度感測器,可以自動校準環境變化對雷射波長及長度測量的影響,測量系統調整時,雷射干涉儀和接收感測器採用...
主要規格:Polytec公司的PSV-400型掃描式雷射測振儀在雷射干涉測試的基礎上測量與分析結構表面振動速率的二維分布,其主要由帶干涉儀的掃描頭、解碼控制器、連線箱、數據管理系統等幾個主要模組構成。 功能與特色:PSV-400具有技術卓越、...
測量精度要求: *系統由IFM干涉雷射及ADM絕對雷射雙雷射構成,全量程Uxyz空間坐標綜合測量精度(MPE): ≤15um+6um/m(測量精度指標需換算為最大容許誤差數值) *ADM測量方式下絕對測距精度(全量程): ≤10微米 *雷射干涉儀(IFM...
四、雙頻雷射干涉測量系統誤差分析第六節 工件台控制系統設計一、三維精密工件台控制系統設計二、三維氣浮工件台控制系統設計參考文獻第五章 分辨力增強技術第一節 波前工程原理第二節 離軸照明技術...