6D雷射干涉儀是一種用於信息科學與系統科學、物理學、生物學領域的科學儀器，於2010年6月26日啟用。
基本介紹
- 中文名：6D雷射干涉儀
- 產地：美國
- 學科領域：信息科學與系統科學、物理學、生物學
- 啟用日期：2010年6月26日
技術指標,主要功能,
技術指標
1、線性測量範圍 0-40m 2、線性測量精度 ≤ 1.0μm 3.線性解析度≤ 0.001μm 4.線性測量速度 ≥0.7m/s 5. 直線度軸向測量範圍 0.1m-25m 6. 直線度測量範圍 ±0.5mm 7. *直線度測量解析度 0.1μm 8. 直線度測量精度 （1.0+0.2/m）μm 9. 垂直度精度1″ 10. 偏擺角和俯仰角精度：1″或1%顯示值 最大範圍：800″ 11. 滾動角 解析度：±0.1″精度：±1″ 12. 空氣溫度感測器精度：±0.2℃ 13. 材料溫度感測器精度：±0.2℃ 14. 氣壓精度 ±0.1mbar 15. 濕度精度≤15%。
主要功能
測量儀器配有專門設計的多重數字濾波器，使空氣波動及溫度的梯度變化引起的測量誤差降到最小。干涉儀帶有自動氣壓、環境溫度和材料溫度感測器，可以自動校準環境變化對雷射波長及長度測量的影響,測量系統調整時，雷射干涉儀和接收感測器採用兩點一線的方式調整，簡單、快速；雷射干涉儀具有易操作、高精度、高效率、重量輕、體積小的特點，調整方便快捷，簡化調整步驟，減少調整時間。
