三維位置雷射干涉測量系統

三維位置雷射干涉測量系統是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器，於2016年12月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維位置雷射干涉測量系統
• 產地：美國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2016年12月20日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀

技術指標

基準頻率2.4MHZ-3.0MHz, 1小時內真空頻率穩定度0.004ppm，解析度0.15nm。

主要功能

長度及角度測量。